測量精度: 1.8um起
特性：
加厚的臺(tái)面設(shè)計(jì)為中型工件提供了可靠的測量支撐。
Y向?qū)к壊捎醚辔彩浇Y(jié)構(gòu)，定位精度高，穩(wěn)定性能好。
系列化的規(guī)格尺寸設(shè)計(jì)，為用戶提供不同大小工件的測量需求。
Z軸先進(jìn)的氣動(dòng)平衡技術(shù)，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。
雷尼紹插槽式光柵RTLC系列測量位置反饋系統(tǒng)。
配置先進(jìn)的實(shí)時(shí)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)，高了產(chǎn)品溫度適用范圍。
多種豐富的測量配置可完成復(fù)雜的測量需求。
可提供多種測量應(yīng)用配置方案。
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格: 121510、 122210、 123010、152212、153012、152014、 152614、 153314
