測量精度: 0.9um起



特性:

工作臺與導(dǎo)軌的一體化設(shè)計,增加了設(shè)備的可靠性。

精密矩形橫梁和四面環(huán)抱式靜壓導(dǎo)軌設(shè)計,保證了測量穩(wěn)定性。

冷壓成型的全硬鋁合金移動框架結(jié)構(gòu),輕質(zhì)高效。

雷尼紹插槽式光柵RTLC系列測量位置反饋系統(tǒng)。

配置先進的實時溫度補償系統(tǒng),提高了產(chǎn)品溫度適用范圍。

多種豐富的測量配置可完成復(fù)雜的測量需求。

可提供多種測量應(yīng)用配置方案。

標準規(guī)格: 575、 7107、9128、 9158、9208


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